ÔÚµ±½ñ¿Æ¼¼ÈÕÐÂÔÂÒìµÄʱ´ú£¬Î¢ÐÍÉ豸ÕýÖð½¥ÉøÍ¸µ½ÎÒÃÇÉú»îµÄ·½·½ÃæÃ棬´Ó±ãЯʽµç×ÓÉ豸µ½¾«ÃÜÒ½ÁÆÒÇÆ÷£¬´ÓÖÇÄܼҾӲúÆ·µ½Î¢ÐÍ·ÉÐÐÆ÷µÈ¡£¶øÔÚÕâЩ΢ÐÍÉ豸µÄ±³ºó£¬ÓÐһλĬĬ·îÏ×µÄ ¡°¶¯Á¦Ð¡¾ÞÈË¡±£¬ÄǾÍÊÇ΢ÐÍѹËõ»ú¡£ËüÒÔÆäСÇɵÄÉíÇû£¬Ô̺¬×ÅÇ¿´óµÄÄÜÁ¿£¬ÎªÎ¢ÐÍÉ豸עÈëÁËÔ´Ô´²»¶ÏµÄÇ¿¾¢¶¯Á¦£¬Íƶ¯×ſƼ¼µÄ²»¶Ï½ø²½ºÍ´´Ð¡£
Ò»¡¢Ð¡ÇÉÁáç磬ȴÄÜÁ¿¾Þ´ó
΢ÐÍѹËõ»úµÄÊ×ÒªÌØµã±ãÊÇÆäСÇɵijߴ硣ËüµÄÌå»ýͨ³£Ö»Óд«Í³Ñ¹Ëõ»úµÄ¼¸·ÖÖ®Ò»ÉõÖÁ¸üС£¬Äܹ»ÇáËɼ¯³Éµ½¸÷ÖÖ΢ÐÍÉ豸ÖУ¬¶ø²»Õ¼Óùý¶àµÄ¿Õ¼ä¡£È»¶ø£¬Ç§Íò²»Òª±»ËüµÄСÇÉËùÃÔ»ó£¬ÆäÔÚ¶¯Á¦Êä³ö·½ÃæÈ´ºÁ²»Ñ·É«¡£Í¨¹ýÏȽøµÄÉè¼ÆºÍÖÆÔ칤ÒÕ£¬Î¢ÐÍѹËõ»úÄܹ»ÔÚ¼«Ð¡µÄ¿Õ¼äÄÚʵÏÖ¸ßЧµÄÆøÌåѹËõ£¬²úÉú×ã¹»µÄѹÁ¦ºÍÁ÷Á¿£¬Âú×ã΢ÐÍÉ豸µÄÔËÐÐÐèÇó¡£ÎÞÂÛÊÇΪÁËÇý¶¯Î¢ÐÍÖÆÀäϵͳʵÏÖ¾«×¼µÄζȿØÖÆ£¬»¹ÊÇΪÁËÍÆ¶¯Î¢ÐÍÆø¶¯¹¤¾ßÍê³É¾«Ï¸µÄ²Ù×÷£¬Î¢ÐÍѹËõ»ú¶¼ÄÜÌṩÎȶ¨¶øÇ¿¾¢µÄ¶¯Á¦Ö§³Ö¡£
¶þ¡¢¾«ÃÜÖÆÔ죬¿Æ¼¼½á¾§
ҪʵÏÖÈç´ËСÇÉÇÒÇ¿´óµÄÐÔÄÜ£¬Àë²»¿ª¾«ÃÜÖÆÔì¼¼ÊõµÄÖ§³Å¡£Î¢ÐÍѹËõ»úµÄÖÆÔì¹ý³ÌÉæ¼°µ½¸ß¾«¶ÈµÄ»úе¼Ó¹¤¡¢Î¢»úµçϵͳ£¨MEMS£©¼¼ÊõÒÔ¼°ÏȽøµÄ²ÄÁÏ¿ÆÑ§µÈ¶à¸öÁìÓò¡£Ã¿Ò»¸öÁ㲿¼þ¶¼ÐèÒª¾¹ý¾«Ï¸µÄÉè¼ÆºÍ¼Ó¹¤£¬ÒÔÈ·±£ÔÚ¼«Ð¡µÄ³ß´çÏÂÈÔÄܾ߱¸Á¼ºÃµÄÐÔÄܺͿɿ¿ÐÔ¡£ÀýÈ磬ѹËõ»úµÄ΢ÐÍ»îÈû¡¢Æø¸×ºÍ·§ÃŵȲ¿¼þ£¬Æä³ß´ç¾«¶ÈÍùÍù´ïµ½Î¢Ã×¼¶±ð£¬ÐèÒª²ÉÓü¤¹â¼Ó¹¤¡¢Î¢Ê´¿ÌµÈÏȽø¹¤ÒÕÀ´ÖÆÔ졣ͬʱ£¬ÎªÁËÌá¸ßѹËõ»úµÄЧÂʺÍÐÔÄÜ£¬Ñз¢ÈËÔ±»¹²»¶Ï̽Ë÷ºÍÓ¦ÓÃÐÂÐͲÄÁÏ£¬Èç¸ßÇ¿¶È¡¢ÇáÁ¿»¯µÄºÏ½ð²ÄÁϺ͸ßÐÔÄܵÄÃÜ·â²ÄÁϵȣ¬Ê¹µÃ΢ÐÍѹËõ»úÔÚ±£Ö¤¶¯Á¦Êä³öµÄͬʱ£¬½øÒ»²½¼õСÁËÌå»ýºÍÖØÁ¿¡£
Èý¡¢¹ã·ºÓ¦Óã¬ÖúÁ¦Î¢ÐͿƼ¼·¢Õ¹
΢ÐÍѹËõ»úµÄÓ¦ÓÃÁìÓò·Ç³£¹ã·º£¬¼¸ºõº¸ÇÁËËùÓÐÐèҪ΢ÐͶ¯Á¦Ô´µÄÁìÓò¡£ÔÚÏû·Ñµç×ÓÁìÓò£¬ËüΪÊÖ»ú¡¢Æ½°åµçÄÔµÈÉ豸µÄÉ¢ÈÈÄ£¿éÌṩ¶¯Á¦£¬È·±£µç×ÓÔª¼þÔÚ¸ßÐÔÄÜÔËÐÐʱ²»»áÒò¹ýÈȶøË𻵣¬ÑÓ³¤ÁËÉ豸µÄʹÓÃÊÙÃü¡£ÔÚÒ½ÁÆÁìÓò£¬Î¢ÐÍѹËõ»ú±»Ó¦ÓÃÓÚ±ãЯʽҽÁÆÉ豸£¬ÈçÒȵºËرᢱãÐ¯Ê½ÖÆÑõ»úµÈ£¬Îª»¼ÕßÌṩÁ˸ü¼Ó±ã½ÝºÍ×ÔÖ÷µÄÖÎÁÆ·½Ê½¡£ÔÚÖÇÄܼҾÓÁìÓò£¬Ëü¿ÉÒÔÇý¶¯Î¢ÐÍÖÇÄÜÃÅËø¡¢´°»§×Ô¶¯¿ªºÏÆ÷µÈÉ豸£¬ÊµÏÖ¼Ò¾ÓµÄÖÇÄÜ»¯ºÍ×Ô¶¯»¯¿ØÖÆ¡£´ËÍ⣬ÔÚº½¿Õº½Ìì¡¢¾üʹú·À¡¢»·¾³¼à²âµÈÁìÓò£¬Î¢ÐÍѹËõ»úÒ²·¢»Ó×ÅÖØÒªµÄ×÷Óã¬ÎªÎ¢ÐÍ´«¸ÐÆ÷¡¢Î¢ÐÍ·ÉÐÐÆ÷µÈÉ豸Ìṩ¶¯Á¦Ö§³Ö£¬Íƶ¯ÁËÕâЩÁìÓòµÄ¼¼Êõ´´Ðºͷ¢Õ¹¡£
ËÄ¡¢²»¶Ï´´Ð£¬×·Çó׿ԽÐÔÄÜ
Ëæ×Å΢ÐÍÉ豸Êг¡µÄ²»¶ÏÀ©´óºÍ¶ÔÐÔÄÜÒªÇóµÄÈÕÒæÌá¸ß£¬Î¢ÐÍѹËõ»úÒ²ÔÚ²»¶Ï½øÐд´Ðº͸Ľø¡£Ñз¢ÈËÔ±ÖÂÁ¦ÓÚÌá¸ß΢ÐÍѹËõ»úµÄÄÜЧ±È£¬½µµÍÄܺģ¬ÒÔÂú×ã½ÚÄÜ»·±£µÄÒªÇó¡£Í¬Ê±£¬ËûÃÇ»¹ÔÚŬÁ¦ÌáÉýѹËõ»úµÄÎȶ¨ÐԺͿɿ¿ÐÔ£¬ÑÓ³¤ÆäʹÓÃÊÙÃü£¬¼õÉÙά»¤³É±¾¡£ÔÚ¿ØÖƼ¼Êõ·½Ã棬ÖÇÄÜ»¯µÄ¿ØÖÆÏµÍ³±»Ó¦Óõ½Î¢ÐÍѹËõ»úÖУ¬Ê¹ÆäÄܹ»¸ù¾ÝÉ豸µÄʵ¼ÊÐèÇó×Ô¶¯µ÷½ÚÔËÐвÎÊý£¬ÊµÏÖ¸ü¼Ó¾«×¼µÄ¶¯Á¦Êä³öºÍ½ÚÄÜ¿ØÖÆ¡£´ËÍ⣬һЩÐÂÐ͵Ä΢ÐÍѹËõ»ú¼¼ÊõÒ²ÔÚ²»¶ÏÓ¿ÏÖ£¬Èçѹµçʽ΢ÐÍѹËõ»ú¡¢µç´Åʽ΢ÐÍѹËõ»úµÈ£¬ÕâЩм¼ÊõΪ΢ÐÍѹËõ»úµÄ·¢Õ¹´øÀ´ÁËеĻúÓöºÍÌôÕ½£¬ÓÐÍû½øÒ»²½Íƶ¯Î¢ÐÍÉ豸ÐÔÄܵÄÌáÉý¡£
΢ÐÍѹËõ»ú×÷Ϊ΢ÐÍÉ豸µÄºËÐ͝Á¦×é¼þ£¬ÒÔÆäСÇɵÄÉíÇûºÍÇ¿´óµÄ¶¯Á¦£¬ÎªÎ¢ÐͿƼ¼µÄ·¢Õ¹×¢ÈëÁËÏÊ»îµÄÉúÃüÁ¦¡£ËüÊǾ«ÃÜÖÆÔì¼¼ÊõÓë´´ÐÂÉè¼ÆµÄÍêÃÀ½áºÏ£¬ÔÚÖÚ¶àÁìÓòÖз¢»Ó×Ų»¿É»òȱµÄ×÷Óá£Ëæ×ſƼ¼µÄ²»¶Ï½ø²½£¬ÏàÐÅ΢ÐÍѹËõ»ú½«¼ÌÐø²»¶Ï´´Ðºͷ¢Õ¹£¬ÎªÎÒÃÇ´øÀ´¸ü¶àÐÔÄÜ׿Խ¡¢¹¦ÄÜÇ¿´óµÄ΢ÐÍÉ豸£¬ÈÃÎÒÃǵÄÉú»î±äµÃ¸ü¼Ó±ã½Ý¡¢ÖÇÄܺÍÃÀºÃ¡£